蓝宝石长晶炉热场

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蓝宝石(Sapphire)是一种氧化铝(Al2O3)的单晶,光学穿透带很宽,从近紫外光(190nm)到中红外线都具
有很好的透光性。蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,强度高、硬度大、耐腐蚀,可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作,因而被广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石晶体成为实际应用的半导体GaN/Al2O3发光二极管(LED),大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等最为理想的衬底材料。随着近年来LED TV、LED Monitor、LED NB、LED Phone及LED照明市场的持续高速增长,强劲推动了用于制作LED基材的蓝宝石市场的需求扩张。

优点

  • 蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好
  • 蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中
  • 蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗

 

常用晶体生长方法:

  • Czochralski Method (柴氏拉晶法,又称为提拉法):Pull from the melt.
  • Kyropoulos Method (凯氏长晶法,又称为泡生法): Dip and turn.
  • 温度梯度法(TGT法)
  • EFG Method (导模法,Edge Defined Film-fed Growth): Pull through die.
  • 热交换法(Heat Exchange Method,HEM)
  • 垂直水平温度梯度冷却法(Vertical Horiaontal Gradient Freezing,VHGF): 韩国Sapphire Technology Company (STC)技术。
  • ES2-GSA长晶法:美国Rubicon Technology Inc.技术。

由于钨钼具有耐高温、低污染等特性,被广泛用来做蓝宝石长晶炉的热场部件,包括钨坩埚/钼坩埚、发热体、钨筒、隔热屏、支撑、底座、籽晶杆、坩埚盖等。发热体采用鸟笼结构钨发热体或者钨网发热体,有利于提供均匀稳定的温场。

ATTL为客户提供优质的30Kg、60Kg、85Kg、120Kg全套蓝宝石长晶炉热场及热场中的钨钼部件。

 

HEM长晶炉用旋压钼坩埚

蓝宝石长晶炉用钨坩埚


蓝宝石长晶炉用钨发热体

蓝宝石长晶炉用隔热屏


蓝宝石长晶炉用钨发热体

蓝宝石长晶炉用钨筒和钨坩埚


蓝宝石长晶炉用钨隔热屏

蓝宝石长晶炉用底座


蓝宝石长晶炉用钨坩埚

蓝宝石长晶炉用电极屏


蓝宝石长晶炉用钨筒

蓝宝石长晶炉用坩埚盖


蓝宝石长晶炉用上下盖屏

蓝宝石长晶炉用底座


蓝宝石长晶炉用钨托盘

蓝宝石长晶炉用电极屏


蓝宝石长晶炉用钨支柱

蓝宝石长晶炉用坩埚盖


蓝宝石长晶炉用籽晶杆

蓝宝石长晶炉用籽晶杆


蓝宝石长晶炉用电极屏

蓝宝石长晶炉用电极屏


长晶炉用坩埚盖 底座

长晶炉用坩埚盖 底座



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